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产品描述
氦质谱检漏仪是一种氦气作为示终气体，专门针对有气密性要求的产品做密封性检测的质谱分析仪器。其基本原理是：采集被检件中的气体将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，用磁偏转分离原理检出氦离子，通过测量氦离子流来确定漏孔大小及位置。
常用行业名词
气体泄漏：在压强差存在的情况下所产生的气体定向移动。
漏率：国际通用测量单位pa·m³/s：表示单位时间内单位压差情况下通过某漏孔所泄露的气体量。
最小可检漏率：在理想工作条件下，以一个大气压的纯氦作为示漏气体，检漏仪能检出的最小漏孔。
响应时间：仪器检漏口喷氦致使漏率值上升到漏孔饱和泄密值的0.63倍时所需时间。
氦本底：在喷氦检漏前，由于被检件和检漏仪中残余氦气不能及时清除，造成的本底信号。
检漏口最大压强：检漏仪内检漏阀开启所允许的最大压强值。
2）性能参数
基本参数：
额定电压单相220V±10%
额定功率1KW
真空连接KF25
环境温度5-40℃
相对湿度≤80%
性能指标：
最小可检漏率1.0×10-13pa·m³/s
检漏范围1.0×10-13---1.0×10-3pa·m³/s
响应时间≦1s
开机时间≦3min
最大检漏口压强1000pa
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