功能特点
产品中心
PRODUCT CENTER
产品描述
实现超洁净真空腔体内部气体的抽放系统，适用于核、新能源领域洁净气体的流量精准控制场合。
● 精确的气体流量控制
● 能够实现手动/自动的抽放气控制
● 人机友好的操作界面
技术参数
● 压力范围：10~6mbar~常压
● 工作介质：空气，N2
● 工作温度：20±2℃
● 系统超压机械泄压能力：泄压压力1/3psi
● 质量流量计(氮气/空气)：0~3SLM
● 过滤器精度：0.03um
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